三级光学精密设备的精度误差小于0.005mm，适合一般精密加工和检测。光学加工的精度一般在毫米范围内，要求表面光滑，无明显缺陷、气泡等，并有一定的光学透明度和光学均匀性。光学设备的精度等级越高，能够满足的工艺要求就越精密。因此被广泛应用于半导体、电子、航空、国防等行业。